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ATLEX-300-I系列型号示例:
德国ATL LASER 型号:ATLEX-300-I-F2
气体介质:F2 波长:157nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:1mJ
德国ATL LASER 型号:ATLEX-300-I-ArF
气体介质:ArF 波长:193nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:10mJ
德国ATL LASER 型号:ATLEX-300-I-KrF
气体介质:KrF 波长:248nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:15mJ
德国ATL LASER 型号:ATLEX-300-I-XeCl
气体介质:XeCl 波长:308nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:8mJ
德国ATL LASER 型号:ATLEX-300-I-XeF
气体介质:XeF 波长:351nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:7mJ
ATLEX-500-I系列激光器
特点:
高压固态脉冲发生器
集成真空泵和卤素过滤器
风冷/可选液冷
用于系统集成的 RS-485、RS232、USB 和光纤接口
可冲洗的光学支架
能量稳定模式
动态风扇速度控制
ATLEX-500-I系列型号示例:
德国ATL LASER 型号:ATLEX-500-I-F2
气体介质:F2 波长:157nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:1mJ
德国ATL LASER 型号:ATLEX-500-I-ArF
气体介质:ArF 波长:193nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:10mJ
德国ATL LASER 型号:ATLEX-500-I-KrF
气体介质:KrF 波长:248nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:15mJ
德国ATL LASER 型号:ATLEX-500-I-XeCl
气体介质:XeCl 波长:308nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:8mJ
德国ATL LASER 型号:ATLEX-500-I-XeF
气体介质:XeF 波长:351nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:7mJ
ATLEX-1000-I系列激光器
特点:
高压固态脉冲发生器
集成真空泵和卤素过滤器
风冷/可选液冷
用于系统集成的 RS-485、RS232、USB 和光纤接口
可冲洗的光学支架
能量稳定模式
动态风扇速度控制
ATLEX-1000-I系列型号示例:
德国ATL LASER 型号:ATLEX-1000-I-ArF
气体介质:ArF 波长:193nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:10mJ
德国ATL LASER 型号:ATLEX-1000-I-KrF
气体介质:KrF 波长:248nm 高压开关技术:固态开关 最大脉冲能量:15mJ